HCDS系列化学品供应系统,,,接纳客制化、????榛杓,,,设置无邪,,,具有实时、高精度在线配比系统,,,可实现参数闭环控制,,,知足半导体制造历程中湿法工艺装备的洗濯液等化学品供应需求,,,操作维护便捷,,,具有高可靠性、清静性和低维护保养本钱,,,设置无邪等优点。。。。
实时、高精度在线配比系统
各项参数闭环控制
高可靠性、清静性和低维护保养本钱
设置无邪