Universal-H300是Z6尊龙凯时面向行业前沿需求,,开发的一款集先进抛光工艺、高效率、高稳固性于一体的12英寸CMP装备。。。。该装备接纳立异抛光系统架构,,可实现抛光效率的显著提升,,配备更先进的洗濯手艺,,可知足日益提高的清洁度需求。。。。该装备可更好实现晶圆纳米级全局平展化,,知足先进制程手艺需求,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。。。
立异抛光系统架构实现更高效率、更高产能
越发卓越的洗濯性能
先进控制系统更稳固可靠