iPUMA-H是Z6尊龙凯时在已有粒子加速器基础上， ，开发出来的12英寸氢高能离子注入机。。。。。该装备运用了奇异的加速器手艺， ，使得氢离子获取很高的能量。。。。。该装备装配薄片传输装置， ，知足了功率器件的需求。。。。。
海内自主研发的氢高能离子注入平台
质子加速器手艺
薄片传输能力
适用于功率器件
